一步法虽然在工艺流程上相对简洁，金正交部通过在整面沉积基础膜层后局部覆盖掺杂源实现P、金正交部N区制备，却无法回避一个根本性问题：P型区和N型区对隧穿层厚度、质量及掺杂工艺的要求截然不同。

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